Active feedback control of subsystems of a process module

WO2019099258 Art A1 23. Mai 2019

Anmelder: Lam Research Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019099258
Aktenzeichen: EP18877985
Anmeldetag: 7. November 2018
Veröffentlichung: 23. Mai 2019
Rechtsraum: WO
IPC: G06F13/28G06F17/50

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Lam Research Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

2.725 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Software & Datenverarbeitung

Vertreten von