Predictive filter for polishing pad wear rate monitoring

WO2019099541 Art A1 23. Mai 2019

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019099541
Aktenzeichen: EP18877819
Anmeldetag: 14. November 2018
Veröffentlichung: 23. Mai 2019
Rechtsraum: WO
IPC: B24B49/10B24B53/017B24B37/005G01B7/06G06F17/18

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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