Extreme ultraviolet generator and method for manufacturing electronic device

WO2019102526 Art A1 31. Mai 2019

Anmelder: Gigaphoton Inc., Ueda, Atsushi 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019102526
Aktenzeichen: EP17933153
Anmeldetag: 21. November 2017
Veröffentlichung: 31. Mai 2019
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20H05G2/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Gigaphoton Inc.
Ueda, Atsushi
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Gigaphoton

Gigaphoton ist ein japanischer Hersteller von Excimer-Lasersystemen für die Halbleiterlithografie, ein Gemeinschaftsunternehmen unter Beteiligung von Komatsu. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Elektronik. Anmeldungen erstrecken sich von 2001 bis 2023.

539 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Optik & Fototechnik

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