Control method, fluid control device, and semiconductor manufacturing method, each using valve device and control device therefor

WO2019102882 Art A1 31. Mai 2019

Anmelder: Fujikin Incorporated 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019102882
Aktenzeichen: EP18881773
Anmeldetag: 12. November 2018
Veröffentlichung: 31. Mai 2019
Rechtsraum: WO
IPC: F16K31/02F16K1/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fujikin Incorporated
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujikin

Der Anmelder ist ein japanischer Hersteller von Fluidsteuerungs- und Ventiltechnik für die Halbleiterfertigung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Maschinenelemente und Fluidtechnik sowie auf Steuerungs- und Regelungstechnik und Messtechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.

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Fachgebiete

Maschinenelemente & Fluidtechnik

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