Method for manufacturing thin film having layered structure, thin film having layered structure and manufactured thereby, and method for manufacturing semiconductor device by using same

WO2019103168 Art A1 31. Mai 2019

Anmelder: Korea Institute of Energy Research 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019103168
Aktenzeichen: EP17932615
Anmeldetag: 21. November 2017
Veröffentlichung: 31. Mai 2019
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/02H01L21/768

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Korea Institute of Energy Research
Land: 🇰🇷 Südkorea

🇰🇷 Korea Institute of Energy Research

Das Korea Institute of Energy Research (KIER) ist eine staatlich finanzierte südkoreanische Forschungseinrichtung für Energietechnologien. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Verfahrens- und Trenntechnik sowie Halbleiter- und elektrische Bauelemente, ergänzt um anorganische Chemie und Werkstoffe. Anmeldungen reichen bis 2004 zurück.

533 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von