Laser beam monitoring system

WO2019105664 Art A1 6. Juni 2019

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019105664
Aktenzeichen: EP18789444
Anmeldetag: 26. Oktober 2018
Veröffentlichung: 6. Juni 2019
Rechtsraum: WO
IPC: G01J1/04G01J1/42G02B27/10G03F7/20H05G2/00B23K26/70

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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