Abnormality diagnosis method of fluid supply line

WO2019106959 Art A1 6. Juni 2019

Anmelder: Fujikin Incorporated 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019106959
Aktenzeichen: EP18883545
Anmeldetag: 5. Oktober 2018
Veröffentlichung: 6. Juni 2019
Rechtsraum: WO
IPC: G05D7/06F16K37/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fujikin Incorporated
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujikin

Der Anmelder ist ein japanischer Hersteller von Fluidsteuerungs- und Ventiltechnik für die Halbleiterfertigung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Maschinenelemente und Fluidtechnik sowie auf Steuerungs- und Regelungstechnik und Messtechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.

452 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Maschinenelemente & Fluidtechnik Steuerungs- & Regelungstechnik

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