Detection device, processing device, installation object, detection method, and detection program
WO2019107150
Art A1
6. Juni 2019
Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2019107150
- Aktenzeichen
- EP18883717
- Anmeldetag
- 14. November 2018
- Veröffentlichung
- 6. Juni 2019
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G01B11/24
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Nikon Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Nikon
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.
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