Flow rate control device
WO2019107215
Art A1
6. Juni 2019
Anmelder: Fujikin Incorporated 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2019107215
- Aktenzeichen
- EP18883116
- Anmeldetag
- 20. November 2018
- Veröffentlichung
- 6. Juni 2019
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G05D7/06
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Fujikin Incorporated
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Fujikin
Der Anmelder ist ein japanischer Hersteller von Fluidsteuerungs- und Ventiltechnik für die Halbleiterfertigung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Maschinenelemente und Fluidtechnik sowie auf Steuerungs- und Regelungstechnik und Messtechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.
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