Plasma-resistant resin composition and electrostatic chucking device employing same

WO2019107271 Art A1 6. Juni 2019

Anmelder: Tomoegawa Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019107271
Aktenzeichen: EP18884055
Anmeldetag: 22. November 2018
Veröffentlichung: 6. Juni 2019
Rechtsraum: WO
IPC: C08L101/00C08K3/00C08L83/04C09J11/04C09J183/04C09J201/00C09K3/10H01L21/3065

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Tomoegawa Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tomoegawa

Tomoegawa ist ein japanischer Hersteller von Spezialpapieren und Funktionsmaterialien mit Sitz in Tokio, der unter anderem Materialien für Elektronik und optische Anwendungen produziert. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Optik- und Fototechnik sowie Halbleiter- und Fertigungstechnik. Die Anmeldungen decken den Zeitraum von 2000 bis 2025 ab.

256 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik

Vertreten von