Fin field effect transistor using carbon nanotubes as conductive trenches and preparation method thereof

WO2019109376 Art A1 13. Juni 2019

Anmelder: Soochow University 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2019109376
Aktenzeichen
EP17933926
Anmeldetag
15. Dezember 2017
Veröffentlichung
13. Juni 2019
Rechtsraum
WO
IPC
H01L29/78H01L21/336
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Soochow University
Land
🇨🇳 China
🇨🇳 Soochow University

Soochow University ist eine staatliche Universität in Suzhou, China, mit breitem Fächerspektrum einschließlich Materialwissenschaft und Chemie.

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