Method for expanding sheath and bulk of plasma by using double radio frequency

WO2019112148 Art A1 13. Juni 2019

Anmelder: Postech Academy-Industry Foundation 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019112148
Aktenzeichen: EP18886798
Anmeldetag: 28. August 2018
Veröffentlichung: 13. Juni 2019
Rechtsraum: WO
IPC: H05H1/46

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Postech Academy-Industry Foundation
Land: 🇰🇷 Südkorea

🇰🇷 Postech Academy-Industry Foundation

Die Postech Academy-Industry Foundation ist die Technologietransferstelle der südkoreanischen Universität POSTECH mit Sitz in Pohang. Die Patente stammen aus Forschungsprojekten in Materialwissenschaft, Elektronik und Chemie.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik

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