Compositions and methods for reducing interaction between abrasive particles and a cleaning brush

WO2019112751 Art A1 13. Juni 2019

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2019112751
Aktenzeichen
EP18885165
Anmeldetag
9. November 2018
Veröffentlichung
13. Juni 2019
Rechtsraum
WO
IPC
C11D11/00H01L21/304A46D1/00C11D7/50C11D7/26
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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