Chemical delivery system and method of operating the chemical delivery system

WO2019113466 Art A1 13. Juni 2019

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019113466
Aktenzeichen: EP18885532
Anmeldetag: 7. Dezember 2018
Veröffentlichung: 13. Juni 2019
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/448H01L21/67H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Entegris, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von

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