Regeneration of a debris flux measurement system in a vacuum vessel

WO2019115144 Art A1 20. Juni 2019

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019115144
Aktenzeichen: EP18810931
Anmeldetag: 16. November 2018
Veröffentlichung: 20. Juni 2019
Rechtsraum: WO
IPC: G01N29/02G01N29/036G01N21/15

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

5.380 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

Vertreten von