Prediction of out of specification physical items

WO2019115426 Art A1 20. Juni 2019

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019115426
Aktenzeichen: EP18826208
Anmeldetag: 10. Dezember 2018
Veröffentlichung: 20. Juni 2019
Rechtsraum: WO
IPC: G06F17/18G03F7/20G03F9/00G01N21/95H01L21/66G06K9/62

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung

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