X-ray apparatus and method for manufacturing structure

WO2019117147 Art A1 20. Juni 2019

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2019117147
Aktenzeichen
EP18888025
Anmeldetag
11. Dezember 2018
Veröffentlichung
20. Juni 2019
Rechtsraum
WO
IPC
G01N23/046G01N23/201
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
NIKON CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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