Method of depositing a silicon-containing film on a substrate using organo(halo) siloxane precursors

WO2019118019 Art A1 20. Juni 2019

Anmelder: DOW SILICONES CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019118019
Aktenzeichen: EP18773916
Anmeldetag: 4. September 2018
Veröffentlichung: 20. Juni 2019
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/455C23C16/30C23C16/40

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: DOW SILICONES CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Dow Corning

US-amerikanischer Hersteller von Silikonen und siliziumbasierten Materialien mit Sitz in Michigan, gegründet 1943 als Joint Venture von Dow Chemical und Corning. Das Unternehmen firmiert heute als Dow Silicones Corporation.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von