Methods and assemblies using flourine containing and inert gasses for plasma flood gun (pfg) operation

WO2019118121 Art A1 20. Juni 2019

Anmelder: ENTEGRIS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019118121
Aktenzeichen: EP18888633
Anmeldetag: 14. November 2018
Veröffentlichung: 20. Juni 2019
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/317H01J37/08H01J3/04H01L21/265

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ENTEGRIS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

1.106 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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