Improved ampoule vaporizer and vessel
WO2019118669
Art A1
20. Juni 2019
Anmelder: ENTEGRIS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2019118669
- Aktenzeichen
- EP18888962
- Anmeldetag
- 13. Dezember 2018
- Veröffentlichung
- 20. Juni 2019
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C23C16/448C23C16/44C23C14/22C23C14/48
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ENTEGRIS, INC.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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Fachgebiete
Vertreten von
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