Laser irradiation system

WO2019123612 Art A1 27. Juni 2019

Anmelder: GIGAPHOTON INC., KYUSHU UNIVERSITY, NATIONAL UNIVERSITY CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019123612
Aktenzeichen: EP17935108
Anmeldetag: 21. Dezember 2017
Veröffentlichung: 27. Juni 2019
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/22H01L21/268

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: GIGAPHOTON INC.
KYUSHU UNIVERSITY, NATIONAL UNIVERSITY CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Gigaphoton

Gigaphoton ist ein japanischer Hersteller von Excimer-Lasersystemen für die Halbleiterlithografie, ein Gemeinschaftsunternehmen unter Beteiligung von Komatsu. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Elektronik. Anmeldungen erstrecken sich von 2001 bis 2023.

539 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 Kyushu University

Kyushu University ist eine staatliche Universität in Fukuoka, Japan, mit Forschungsschwerpunkten in Natur- und Ingenieurwissenschaften.

1.331 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von