Micro-device transfer method and micro-device transfer apparatus

WO2019125013 Art A1 27. Juni 2019

Anmelder: KOREA INSTITUTE OF MACHINERY&MATERIALS, CENTER FOR ADVANCED META-MATERIALS 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019125013
Aktenzeichen: EP18892571
Anmeldetag: 20. Dezember 2018
Veröffentlichung: 27. Juni 2019
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/52H01L21/67

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: KOREA INSTITUTE OF MACHINERY&MATERIALS
CENTER FOR ADVANCED META-MATERIALS
Land: 🇰🇷 Südkorea

🇰🇷 Korea Institute of Machinery & Materials

Das Korea Institute of Machinery & Materials ist ein staatliches südkoreanisches Forschungsinstitut für Maschinenbau und Werkstofftechnik. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Werkzeug-, Fertigungs- und Drucktechnik sowie Halbleiter und elektrische Bauelemente, ergänzt durch Verfahrenstechnik und Messtechnik. Anmeldungen erstrecken sich von 2000 bis 2025.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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