A metrology apparatus for and a method of determining a characteristic of interest of a structure on a substrate

WO2019129465 Art A1 4. Juli 2019

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019129465
Aktenzeichen: EP18811269
Anmeldetag: 4. Dezember 2018
Veröffentlichung: 4. Juli 2019
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G01N21/47G01J3/02G01J3/36G01N21/95G01N21/956G03F9/00G01J3/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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