Photosensitive siloxane composition and pattern forming method using the same

WO2019129802 Art A1 4. Juli 2019

Anmelder: MERCK PATENT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2019129802
Aktenzeichen
EP18830845
Anmeldetag
27. Dezember 2018
Veröffentlichung
4. Juli 2019
Rechtsraum
WO
IPC
G03F7/075G03F7/022G03F7/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
MERCK PATENT GMBH
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Merck KGaA

Deutsches Pharma- und Chemieunternehmen mit Sitz in Darmstadt. Aktiv in Biopharmazeutika, Life-Science-Technologien sowie elektronischen Materialien für Halbleiter- und Displayindustrie. Nicht zu verwechseln mit dem US-Unternehmen Merck & Co.

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