Thin film manufacturing apparatus and thin film manufacturing apparatus using neural network

WO2019130159 Art A1 4. Juli 2019

Anmelder: SEMICONDUCTOR ENERGY LABORATORY CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2019130159
Aktenzeichen
EP18894990
Anmeldetag
18. Dezember 2018
Veröffentlichung
4. Juli 2019
Rechtsraum
WO
IPC
C23C16/52C23C14/54G06N3/02G06N20/00H01L21/02H01L21/31H05H1/46
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SEMICONDUCTOR ENERGY LABORATORY CO., LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Semiconductor Energy Laboratory

Japanisches Forschungsunternehmen mit Sitz in Atsugi. Semiconductor Energy Laboratory (SEL) forscht an Halbleitertechnologien, Flüssigkristall- und OLED-Displays sowie Dünnschichttransistoren.

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