Method for producing epitaxial silicon wafer, epitaxial silicon wafer, and method for manufacturing solid-stage imaging sensor
WO2019130653
Art A1
4. Juli 2019
Anmelder: SUMCO CORPORATION 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2019130653
- Aktenzeichen
- EP18895274
- Anmeldetag
- 24. August 2018
- Veröffentlichung
- 4. Juli 2019
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/322C23C16/24C30B25/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- SUMCO CORPORATION
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Sumco
Sumco ist ein japanischer Hersteller von Siliziumwafern für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich entsprechend auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.
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