Apparatus and method for manufacturing epitaxial wafer

WO2019130826 Art A1 4. Juli 2019

Anmelder: SUMCO CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019130826
Aktenzeichen: EP18897272
Anmeldetag: 5. November 2018
Veröffentlichung: 4. Juli 2019
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/205C23C16/44C23C16/52

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SUMCO CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sumco

Sumco ist ein japanischer Hersteller von Siliziumwafern für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich entsprechend auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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