Polishing solution composition for silicon oxide films

WO2019131545 Art A1 4. Juli 2019

Anmelder: KAO CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019131545
Aktenzeichen: EP18895994
Anmeldetag: 21. Dezember 2018
Veröffentlichung: 4. Juli 2019
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/304B24B37/00C09K3/14

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: KAO CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kao

Japanischer Konsumgüter und Chemiekonzern mit Sitz in Tokio. Kao entwickelt Produkte und Technologien für Körperpflege, Kosmetik, Haushaltsreiniger sowie chemische Spezialstoffe.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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