High-Power Radio-Frequency Spiral-Coil Filter

WO2019133302 Art A1 4. Juli 2019

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2019133302
Aktenzeichen
EP18895376
Anmeldetag
14. Dezember 2018
Veröffentlichung
4. Juli 2019
Rechtsraum
WO
IPC
H01F17/04H01F27/28H01J37/32
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
LAM RESEARCH CORPORATION
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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