Method, device and system for reducing off-axial aberration in electron microscopy

WO2019133433 Art A1 4. Juli 2019

Anmelder: FEI COMPANY 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019133433
Aktenzeichen: EP18833373
Anmeldetag: 20. Dezember 2018
Veröffentlichung: 4. Juli 2019
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/153H01J37/147H01J37/26H01J37/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: FEI COMPANY
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 FEI Company

US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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