Positioning device, lithographic apparatus, method for compensating a balance mass torque and device manufacturing method

WO2019134776 Art A1 11. Juli 2019

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019134776
Aktenzeichen: EP18815566
Anmeldetag: 29. November 2018
Veröffentlichung: 11. Juli 2019
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20H01L21/68

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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