Semiconductor metrology and defect classification using electron microscopy

WO2019136015 Art A1 11. Juli 2019

Anmelder: KLA-TENCOR CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019136015
Aktenzeichen: EP18898563
Anmeldetag: 31. Dezember 2018
Veröffentlichung: 11. Juli 2019
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/66G01N23/2251

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: KLA-TENCOR CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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