Active gas generation device and film formation processing device
WO2019138453
Art A1
18. Juli 2019
Anmelder: TOSHIBA MITSUBISHI-ELECTRIC INDUSTRIAL SYSTEMS COR 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2019138453
- Aktenzeichen
- EP18900529
- Anmeldetag
- 10. Januar 2018
- Veröffentlichung
- 18. Juli 2019
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H05H1/30B01J19/08C23C16/452C23C16/455C23C16/50H05H1/24
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- TOSHIBA MITSUBISHI-ELECTRIC INDUSTRIAL SYSTEMS COR
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial Systems Corporation
Japanisches Gemeinschaftsunternehmen von Toshiba und Mitsubishi Electric für industrielle Antriebssysteme, Motoren und Automatisierungstechnik.
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