Vacuum device

WO2019138702 Art A1 18. Juli 2019

Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019138702
Aktenzeichen: EP18899993
Anmeldetag: 26. November 2018
Veröffentlichung: 18. Juli 2019
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/677C23C14/34

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ULVAC, INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

444 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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