Manufacturing method for patterned substrate

WO2019138823 Art A1 18. Juli 2019

Anmelder: JSR CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019138823
Aktenzeichen: EP18900367
Anmeldetag: 19. Dezember 2018
Veröffentlichung: 18. Juli 2019
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/11C08F8/00G03F7/038G03F7/039G03F7/20G03F7/40H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: JSR CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik Optik & Fototechnik

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