Chemical agent for forming water repellent protective film and surface treatment method for wafers

WO2019138870 Art A1 18. Juli 2019

Anmelder: CENTRAL GLASS COMPANY, LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2019138870
Aktenzeichen
EP18900352
Anmeldetag
26. Dezember 2018
Veröffentlichung
18. Juli 2019
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/304
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
CENTRAL GLASS COMPANY, LIMITED
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Central Glass

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das Flachglas, Spezialglas sowie Fluorchemikalien für Industrie und Bauwesen herstellt.

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