Encoder, drive device, stage device, and robot device

WO2019139023 Art A1 18. Juli 2019

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019139023
Aktenzeichen: EP19738042
Anmeldetag: 9. Januar 2019
Veröffentlichung: 18. Juli 2019
Rechtsraum: WO
IPC: G01D5/245G01D5/244B25J19/02H02P6/16

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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