Method for generating correction information, drawing method, correction information generation device, and drawing device

WO2019142443 Art A1 25. Juli 2019

Anmelder: SCREEN HOLDINGS CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019142443
Aktenzeichen: EP18901176
Anmeldetag: 2. November 2018
Veröffentlichung: 25. Juli 2019
Rechtsraum: WO
IPC: G03F9/00G03F7/20H01L21/68

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SCREEN HOLDINGS CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

Vertreten von