Graphite heater for production of monocrystal, and monocrystal pulling device

WO2019142493 Art A1 25. Juli 2019

Anmelder: SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2019142493
Aktenzeichen
EP18900946
Anmeldetag
26. November 2018
Veröffentlichung
25. Juli 2019
Rechtsraum
WO
IPC
C30B15/14C30B29/06F27B14/14H05B3/14H05B3/40
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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