Heater base and processing device

WO2019142812 Art A1 25. Juli 2019

Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019142812
Aktenzeichen: EP19741230
Anmeldetag: 16. Januar 2019
Veröffentlichung: 25. Juli 2019
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/683C23C16/44H01L21/31

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ULVAC, INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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