Adaptive counter measure control thwarting imd jamming impairments for rf plasma systems

WO2019143457 Art A1 25. Juli 2019

Anmelder: MKS INSTRUMENTS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019143457
Aktenzeichen: EP18900756
Anmeldetag: 28. Dezember 2018
Veröffentlichung: 25. Juli 2019
Rechtsraum: WO
IPC: H05H1/46H03H7/38

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: MKS INSTRUMENTS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 MKS Instruments

MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik

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