Self-aligned short-channel electronic devices and fabrication methods of same

WO2019143664 Art A1 25. Juli 2019

Anmelder: NORTHWESTERN UNIVERSITY 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019143664
Aktenzeichen: EP19740800
Anmeldetag: 16. Januar 2019
Veröffentlichung: 25. Juli 2019
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/8234H01L21/768H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NORTHWESTERN UNIVERSITY
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Northwestern University

Private US-amerikanische Universität mit Hauptsitz in Evanston, Illinois, bekannt für Forschung in Ingenieurwissenschaften, Medizin und Materialwissenschaften.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von