Method Of Eliminating Thermally Induced Beam Drift in an Electron Beam Separator

WO2019143873 Art A1 25. Juli 2019

Anmelder: KLA-TENCOR CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019143873
Aktenzeichen: EP19741204
Anmeldetag: 18. Januar 2019
Veröffentlichung: 25. Juli 2019
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/28G01N23/225

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: KLA-TENCOR CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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