Magnetic levitation system and method of contactlessly transporting a carrier within a vacuum environment

WO2019145035 Art A1 1. August 2019

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019145035
Aktenzeichen: EP18704162
Anmeldetag: 25. Januar 2018
Veröffentlichung: 1. August 2019
Rechtsraum: WO
IPC: F16F15/00F16F15/03F16C32/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Maschinenelemente & Fluidtechnik

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