Apparatus and methods for determining the position of a target structure on a substrate

WO2019145101 Art A1 1. August 2019

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019145101
Aktenzeichen: EP18830475
Anmeldetag: 20. Dezember 2018
Veröffentlichung: 1. August 2019
Rechtsraum: WO
IPC: G01N29/06G01N29/22G01N29/24G01N21/55G03F1/84G01R31/303G03F7/20G03F9/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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