Turbomolecular pump and method of operation

WO2019145737 Art A1 1. August 2019

Anmelder: EDWARDS LIMITED 🇬🇧

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019145737
Aktenzeichen: EP19702964
Anmeldetag: 28. Januar 2019
Veröffentlichung: 1. August 2019
Rechtsraum: WO
IPC: F04D19/04F04D29/58

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: EDWARDS LIMITED
Land: 🇬🇧 Großbritannien

🇬🇧 Edwards Limited

Britischer Hersteller von Vakuumpumpen und Abgasbehandlungssystemen mit Sitz in Burgess Hill, Teil des Atlas Copco Konzerns. Patente betreffen Vakuumtechnik für Halbleiter- und Industrieanwendungen.

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Fachgebiete

Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)

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