Method for evaluating silicon layer, and method for producing silicon epitaxial wafer

WO2019146505 Art A1 1. August 2019

Anmelder: SUMCO CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019146505
Aktenzeichen: EP19744030
Anmeldetag: 18. Januar 2019
Veröffentlichung: 1. August 2019
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/66G01N27/00G01N27/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SUMCO CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sumco

Sumco ist ein japanischer Hersteller von Siliziumwafern für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich entsprechend auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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