Position feedback for multi-beam particle detector

WO2019147872 Art A2 1. August 2019

Anmelder: KLA-TENCOR CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2019147872
Aktenzeichen
EP19743787
Anmeldetag
24. Januar 2019
Veröffentlichung
1. August 2019
Rechtsraum
WO
IPC
G01N21/88G01N21/95G01N27/62G01B11/26G06T7/00
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
KLA-TENCOR CORPORATION
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung

Vertreten von

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