Inspection apparatus and inspection method

WO2019149477 Art A1 8. August 2019

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019149477
Aktenzeichen: EP19700115
Anmeldetag: 8. Januar 2019
Veröffentlichung: 8. August 2019
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G03F1/22G03F1/24G03F1/60G03F1/84G02F1/37G01N21/956G21K1/06

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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