Substrate cleaning device, substrate processing device, ultrasonic cleaning fluid supply device, and recording medium

WO2019150683 Art A1 8. August 2019

Anmelder: EBARA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2019150683
Aktenzeichen: EP18903238
Anmeldetag: 6. November 2018
Veröffentlichung: 8. August 2019
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/304B08B1/04B08B3/12

Offizieller Volltext

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Anmelder

Firma: EBARA CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik

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